Residual stress measurement of {211}-oriented CrN layers in CrN/Cr multilayer films

Proceedings of the 15th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP 2019)


Measurement of the residual stress in CrN films deposited on an Al alloy substrate using AIP method


Residual stress and bending strength of ZnO films deposited on polyimide sheet by rf sputtering system

The 13th international symposium on sputtering & plasma prosesses


Influence of alkali concentration on morphology and tensile properties of abaca fibers

Program and Abstract Book for 7th International Conference AMDP 2014


Development of nanocomposites reinforced by cellulose fibers from paper sludge


Effects of alkali treatment on microstructure and tensile properties of abaca fiber


Residual stress measurement in metal interlayer of metal-ceramics functionally graded thin film

Proceedings of the twelfth international symposium on sputtering & plasma processes


Development of green nanocomposites reinforced by cellulose nanofibers from waste newspaper

Proceedings of the Ninth Joint Canada-Japan Workshop on Composites


Proceedings of Asian Conference on Engineering Education 2009 (ACEE2009)

たたらプロジェクトは徳島大学の学生自主プロジェクトとして2005年から活動している．たたらプロジェクトの目的は，プロジェクト活動を通して伝統の和鋼の製作過程の情報を得ることである．得られた情報は教材として編集される．2005年に鋼を作るためのたたら炉を製作した．この炉は眞鍋型たたら炉と呼ばれている．それからけらからナイフの製作を行った．2006年にはe-ラーニング教材を制作した．これまでのたたらプロジェクトの取り組みについて報告する．


Residual stress development in Cu thin films with and without AlN passivation by cyclic plane bending


Evaluation of residual stresses induced by laser peening


Diffraction stress measurement on coarse graind materials

The 8th International Conference on Residual Stresses


Deposition of photocatalytic tiO2 films by planar magnetron sputtering system with opposed Ti targets

14th International Conference on Solid Films and Surfaces


Thermal stress behavior of micro- and nano-size aluminum films

International Conference on Neutron and X-ray Scattering 2007


Comparison of film depositions of anatase TiO2 by planar magnetron sputtering with opposed Ti targets and conventional Ti targets

The 20th Symposium on Plasma Science for Materials


Measurement of electromigration-induced stress in aluminum interconnection

Proceedings of the Ninth International Symposium on Sputtering and Plasma Process


Stress Assisted Atomic Migration in Copper Thin Films


Alteration of Residual Stresses in TiN Films by Synchrotron Radiation due to Heat Treatment


Stress-assisted atomic migration in thin copper films


Encouragement of student activities by presentation evaluation

Proceeding of the 34th SEFI Annual Conference


Mutual evaluation of presentation skills between two distant universities by giga-bit network

Abstract of 6th Asian-Pacific Conference on PBL

Department of Medical Education, Tokyo Women's Medical University, School of Medicine


The Good Result of Independent Project Activities by Students and the New prospect of Creativity Education

Proceedings of The 1st International Conference Design Engineering and Science (Proc. of ICDES2005)


Alteration of internal stresses in SiO2/Cu/TiN thin films by synchrotron radiation due to heat treatment

The 8th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes


Behavior of electromigration-induced stress in nano-sized aluminum interconection

The 8th International Symposium on Sputterring and Plasma Processes


Thermal stress behavior in nano-size thin aluminum films

Advanced Materials Development & Performance Conference 2005


The 8th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes


In-situ observation of thermal stress in nano-size thin aluminum films

The Seventh International Conference on Residual Stresses


In-situ Thermal Stress Measurement of Thin Films During Thermal Cycling

Proceedings of 4th International Forum on Advanced Materila Science and Technology

ガラス基板およびシリコン基板上に成膜した薄膜の熱応力挙動を実験室用のX線応力測定装置およびSpring-8のシンクロトロン放射光を用いてその場測定した研究である．試料はマイクロサイズおよびナノサイズの厚さのアルミニウム膜であり，保護膜の有無による熱応力挙動の効果を観察した．すべての膜において成膜後の残留応力は引張であった．試料を加熱すると薄膜中の応力は圧縮に変化し，冷却により再び引張に変化した．厚い膜の応力は室温からの加熱で非線形的な挙動を示して圧縮に変化し，それに続く冷却過程で引張に変化する．この加熱と冷却の過程で膜の応力は異なる応力値を示しヒステリシスを描いた．20および10ナノメートルサイズの膜の熱応力は加熱冷却過程で線形的な挙動を示し，ヒリシスも観測されなかった．膜の降伏応力の温度依存性および膜厚依存性の因子さらに保護膜の有無の条件を導入して薄膜の熱応力挙動を考察した．


In-situ Observation of Thermal Stress in Nano-size Thin Films

Proceedings of 16th International Vacuum Congress

シリコン基板上に成膜した薄膜の熱応力挙動をシンクロトロン放射光を用いてその場測定した研究である．試料はナノサイズの厚さのアルミニウム膜であり，その上にSiO2の保護膜をつけたものである．薄膜の厚さは10nm，20nm，50nmである．成膜後の残留応力は引張であった．試料を300℃まで加熱すると薄膜中の応力は圧縮に変化し，冷却により再び引張に変化した．厚さ50nmの膜の応力は室温から300℃までの最初の熱サイクルで非線形的な挙動を示し，2回目のサイクルでは線形的な挙動を示した．それに対して，厚さ10nmの膜の応力はほぼ線形的な変化をし，加熱冷却過程でヒステリシスも観測されなかった．薄膜の熱応力挙動を膜の降伏応力の温度依存性および膜厚依存性の因子を導入して考察した．


In-situ thermal stress measurement in nano-sized aluminum and copper films with SOG passivation

AIP Conference Proceedings of Stress-induced Phenomena in Metallization

ガラス基板およびシリコン基板上に成膜した薄膜の熱応力挙動を実験室用のX線応力測定装置およびSpring-8のシンクロトロン放射光を用いてその場測定した研究である．試料はマイクロサイズおよびナノサイズの厚さのアルミニウム薄膜および銅薄膜であり，それぞれ保護膜の有無による熱応力挙動の効果を観察した．すべての膜において成膜後の残留応力は引張であった．試料を加熱すると薄膜中の応力は圧縮に変化し，冷却により再び引張に変化した．アルミニウム薄膜の結果は，厚い膜の応力は室温からの加熱で非線形的な挙動を示して圧縮に変化し，それに続く冷却過程で引張に変化する．この加熱と冷却の過程で膜の応力は異なる応力値を示しヒステリシスを描いた．20および10ナノメートルサイズの膜の熱応力は加熱冷却過程で線形的な挙動を示し，ヒリシスも観測されなかった．膜の降伏応力の温度依存性および膜厚依存性の因子さらに保護膜の有無の条件を導入して薄膜の熱応力挙動を考察した． 銅薄膜については，加熱による膜のはく離により，信頼性の高い結果が得られなかった．


Residual Stress Measurement in Sputtered Copper Thin Films by Synchrotron Radiation and Ordinary X-rays

Proceedings of the 7th International Conference on Residual Stresses

ナノメートルサイズの厚さのCu薄膜の残留応力をシンクロトロン放射光を用いて測定した研究である．Cu薄膜は石英基板の上にdcプレーナマグネトロンスパッタリング法を用いて2種類の基板温度の条件の下で成膜した．さらに，原子間力顕微鏡を用いて膜表面の観察を行った．これらの測定の結果，基板上での膜の形成過程を明らかにし，200nm以上の厚さになると{111}配向すること，さらに，残留応力はすべての場合引張であること，また，膜の構造により残留応力の緩和が起こることを観察した．


Effect of Substrate Temperature on Crystal Orientation and Residual Stress in RF Sputtered Gallium Nitride Films

本論文は，RFスパッタリング法で作製したGaN膜についてX線的に特性評価したものである．GaNの低温スパッタリング技術の研究として，スパッタリングシステムを用いて(0001)単結晶サファイア基板上に堆積した窒化ガリウム(GaN)試料を作成した．この試料の結晶配向性と残留応力をX線回折法により調べた．高周波スパッタリングシステムは，不純物による汚染を防ぐために孤立した堆積室を持ち，高純度窒化膜を生成することが期待できる．いろいろな基板温度，一定のガス圧，一定の供給電力でGaN膜を堆積した．このシステムにより，基板面法線方向にGaN結晶のc軸が優先配向し，良い結晶配向性を有するGaN膜の生成することがわかった．高温で堆積した膜の結晶サイズは，低TSで生成したものよりも大きくなる．残留応力は圧縮であり，堆積温度の上昇と共に減少することがわかった．


Evaluation of Residual Stress in Nano-TiO2 Film on ITO Glass by Synchrotron X-Ray Diffraction

ITOガラス基板上に成膜したナノメートルサイズ厚さのTiO2膜の残留応力を測定評価した研究である．30nm以下の厚さの薄膜を2元アークマグネトロンスパッタリング法により成膜した．ガス圧は10Paおよび20Paである．膜の表面の微視的観察および結晶組織の観察を原子間力顕微鏡で行った．また，残留応力評価の基礎となる膜の弾性定数を3点曲げ治具を使ってナノインデンテーション法で行った．残留応力測定にはSpring-8のシンクロトロン放射光を用いた．10Paおよび20Paで成膜したTiO2膜にはそれぞれ-11.6GPaおよび-9.1GPaの残留応力が存在することを観測した．また，TiO2膜の残留応力がガス圧とともに減少することも観測した．


In-situ Observation of Thermal Stress in Nano-size Thin Aluminum Films


In-situ observation of thermal stress in nano-size thin films


In-situ thermal stress measurement of thin films during thermal cycling

4th International forum on advanced materials science and technology


Measurement of Crystal Orientation and Residual Stress in GaN Film Deposited by RF Sputtering with Powder Target

Proceedings of the Seventh International Symposium on Sputtering and Plasma Process


Energetic oxygen ions in ZrO2 deposition by reactive sputtering of Zr

Proc. 6th International Symposium on Sputtering &Plasma Processes

Ar+O2中のZrの反応性スパッタにおいて強い高速酸素が生成することを見出した．これはZrターゲット表面は酸素雰囲気中で，ターゲットの一部が酸化されている状態の金属モードでのスパッタでは急激に酸化が進むことを示す．また，ターゲット表面全体が酸化されている酸化モードのスパッタでは，非常に厚い酸化膜層が形成されていることを示す．


The Effect of Residual Stresses on the Wear Behavior of TiN Films on Aluminum Substrates

Proceedings of the Sixth International Conference on Residual Stresses

本論文は，アルミニウム基板上に蒸着したTiN膜に関する研究である．柔らかい基板上にTiN膜をアークイオンプレーティング法により蒸着する方法を開発した．3種の基板を用意し，バイアス電圧と窒素ガス圧を変えてTiN 膜を作製した．TiN膜は{111}配向をしており，その配向性はバイアス電圧が高くなるにつれ劣化した．X線応力測定法としては2点法を使った．残留応力は-6MPa程度であり，基板と膜の熱膨張差による熱残留応力に比べて一桁大きいものであった．摩耗試験の結果，硬い基板上の膜は摩耗がなく耐摩耗膜としての条件を備えた．


Relationship between Grain Size and Residual Stress in AlN Sputtered Film

本論文は，ガラス基板上にプレーナマグネトロンスパッタリングにより蒸着したAlN薄膜の結晶配向性および残留応力をX線回折法により実験的に調査したものである．通常のプレーナマグネトロンスパッタリング法(CPM)および2枚のターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング法(FTPM)により成膜したAlN膜について，膜表面形状と結晶特性を調べた．窒素ガス圧は一定とし，基板温度と蒸着時間をパラメータとした．得られた結果は次のとおりである．(1)FTPMの膜はCPMに比べて結晶粒が大きい．(2)CPMで作製した厚い膜は高いc軸配向性を有する．(3)FTPMで製作した膜および低基板温度で作製した膜は高い引張残留応力を有する．


InN film deposition by planar magnetron sputtering

Proceedings of the Second International Conference on Advanced Materials Development & Performance Evaluation and Application

本論文は，ガラス基板上にRFプレーナマグネトロンスパッタリング法により生成したInN膜の結晶成長，表面形状，電気特性をX線回折，原子間力顕微鏡観察，Hall電圧特性，膜の抵抗特性の測定により観察したものである．作製した膜の結晶はすべてc軸配向を示していた．キャリア密度およびキャリア移動度を測定した．キャリア移動度は結晶粒径と共に増加したが，表面粗さの増大により移動度は減少した．


Effect of Sputtering Power on Residual Stress in AlN Film Deposited by d.c. Sputtering

Proceedings of the Second International Conference on Advanced Materials Development and Performance Evaluation and Application

本論文は，dcプレーなマグネトロンスパッタリング法によりガラス基板上に作製したAlN薄膜の結晶配向性および残留応力を，原子間力顕微鏡およびX線回折法により実験的検証をしたものである．薄膜の作製条件としては，一定窒素ガス圧，一定基板温度の下で，スパッタリングパワーをパラメータとして変化させた．得られた結果は次のとおりである．(1)結晶サイズと薄膜の厚さはスパッタリングパワーと共に増加した．もっとも良いc軸配向性はスパッタリングパワーが140Wの時に得られた．(3)スパッタリングパワーが低いときには引っ張り残留応力が，高いとき(154W，および180W)には圧縮残留応力になった．


FEM Examination of Triaxiality on X-ray Stress Measurement

本論文は，複合材料の微視的残留応力の分布を有限要素法で計算し，X線応力測定における平面応力および3軸応力解析の基準との関係をあつかったものである．この研究では繊維複合材料を模擬し，異なる繊維径および異なる体積割合をパラメータとして解析を行った．この研究の結果，複合材料の応力をX線的に扱う場合は，通常の平面応力の仮定が満たされず，繊維径や繊維の体積比に依存してsin2ψ線図が非線形になることを明らかにした．


Effect of Depositing Time and Sputtering Power on Residual Stress in InN Films Deposited by RF Sputtering

本論文は，rfマグネトロンスパッタリング法によりガラス基板上に作製したInN膜の残留応力を測定したものである．膜作製条件として，蒸着時間とスパッタリングパワーをとった．膜表面の微視的状態を原子間力顕微鏡で，膜の残留応力をX線回折法で測定した．120分で作製した膜は最高のc軸配向が示され，残留応力は1700MPaになった．180分および240分の膜はc軸配向性が劣化し，残竜応力はほぼ零であった．スパッタリングパワーが100Wの時表面粗さは最小となり，c軸配向特性も最良に，また残留応力は最高の引張応力になった．


X-ray Stress Measurement of Sintered Steel --- A Simulation of Japanease Sword

本論文は，日本刀の残留応力の実験的シミュレーションを行ったものである．日本刀は刀匠により伝統的な経験に基づき鋼の製作，浸炭，鍛造，焼き入れ，焼き戻し，研削，研磨などの作業を通して作られるものである．この日本刀は内部に柔らかい材料，そして外表面に硬い材料を構成する方法がなされており，製作後に内部に残留応力が発生する．この残留応力を模擬するため，低炭素鋼に浸炭処理を施して，炭素量が表面から内部に向けて分布する試料を作った．この試料の内部の硬さ分布および残留応力分布を測定した．浸炭された領域で硬さは上昇し，残留応力は圧縮になり，内部の低炭素領域では元の硬さで残留応力は張りになることを明らかにした．


Effect of Sputtering Power on Residual Stress in AlN Films Deposited by rf Sputtering

本論文は，ガラス基板上にrfスパッタリング法により蒸着したAlN膜の残留応力測定に関するものである．成膜方法として，通常の平面ターゲットと屋根型ターゲットを用いた．これらの方法で作成した膜のc軸特性および残留応力に及ぼす雰囲気ガス圧およびスパッタリングパワーの依存性をX線回折法により調査した．低ガス圧では平面ターゲットで，また高ガス圧では屋根型ターゲットでよいc軸配向成が得られた．残留応力はスパッタリングパワーが200Wの場合はすべての膜で引張残留応力，100Wの場合に低ガス圧で圧縮，高ガス圧で引張になった．


Effect of External Magnetic Field on Residual Stress in AlN Films Prepared by Sputtering System

Proceedings of the Second International Conference on Nitride Semiconductors

本論文は，AlN薄膜の結晶配向性および残留応力をX線回折法により調べたものである．2枚のターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング法により薄膜形成した．本論文では，成膜条件として外部磁場をとり真空容器の外側に作用させる磁場の膜特性に及ぼす影響を調べた．結晶配向成を示すc軸の傾きは磁場に依存しなかったが，残留応力は磁場に依存し，磁場の増加に伴って引張残留応力値が大きくなった．


Development of Thermal Stress in Aluminum Film on Silicon Substrate

Proceedings of the First International Conference on Advanced Materials Development and Performance Evaluation and Application

本論文は，薄膜のストレスマイグレーションの基本的メカニズムを調べたものである．シリコン基板上のアルミニウム膜について加熱冷却過程での膜の応力のその場測定を行った．保護膜付きのものと保護膜なしのものについての比較を行い，保護膜の有無による原子移動の違いを明らかにした．加熱の初期過程で膜の応力は引張から圧縮側に線形に変化し，その後圧縮応力の増加率が緩和した．冷却過程では圧縮から引張に変化し室温への冷却で引張残留応力になった．加熱過程と冷却過程では応力変動挙動が異なりヒステリシスループを描き，その様子は保護膜の有無で異なった．


Effect of Nitrogen Gas Pressure on Residual Stress in AlN Films Deposited by Planar Magnetron Sputtering System

本論文は，BLCガラス基板上に蒸着したAlN膜の結晶配向性および残留応力をX線回折法を用いて調査したものである．蒸着方法としては，通常のプレーナマグネトロンスパッタリング法と2枚のターゲットを用いた方法を使用した．本実験では，窒素ガス圧をパラメータとした．通常の方法を用いた場合，窒素ガス圧が1Pa以下のときに良好なc軸配向性を得た．通常の方法では，残留応力はガス圧が2MPa以下の場合，圧縮であり，2MPaを超えると引張であった．それに対して，2枚のターゲットを用いた方法では，0.8MPa以下の場合に引張であり，0.8MPaを超えると圧縮になった．


Effect of Partial Nitrogen Gas Pressure on Residual Stress in AlN Films Prepared by Sputtering System

Proceedings of the Fifth International Conference on Residual Stresses

本論文は，BLCガラス上に蒸着したAlN薄膜の結晶配向性および残留応力をX線回折法により調査したものである．膜の作製には2枚のターゲットによるプレーンナマグネトロンスパッタリング法を用い，成膜条件としてはガス圧，基板温度を一定とし，窒素分圧をパラメータとした．窒素分圧が70%以上のときAlN膜はc軸配向となり，窒素分圧が低くなると共に配向特性が悪化した．残留応力は窒素分圧が高いとき圧縮であり，低いときは引張になった．


In-situ Thermal Stress Measurement and Observation of Void and Hillock Formation of Aluminum Film

本論文は，薄膜中に起こるストレスマイグレーションの基本的メカニズムを研究したものである．シリコン基板上に蒸着したアルミニウム膜について保護膜のあるものおよびないものを試料とし，加熱冷却過程における熱応力をその場測定した．加熱過程で，熱応力は初期に線形変化をした後わずかな圧縮応力状態になる．冷却過程では熱応力は引張応力に変化し非線形挙動を示しながら，最終的には大きい引張応力になる．保護膜付きの試料での応力の変化は保護膜なしの膜の変化より大きいことが明らかになった．SEM観察およびAFM観察により，加熱過程で膜表面にヒロックが，冷却過程で膜にボイドができることが明らかになった．膜の応力形成とひロック，ボイドの形成との対応が明らかになった．


Magnetic field dependence of AlN film properties in DC facing target sputtering

4th International symposium on sputtering & plasma processes


Effects of Substrate Temperature and Successive Annealing on Residual Stress in AlN Films Dposited by Sputtering

Proceedings of the First International Symposium on Thermal Stresses and Related Topics

本論文はガラス基板上に製作したAlN膜の結晶配向性および残留応力挙動について検討した結果の報告である．スパッタリング法で作成したAlN膜はc軸配向性を有しており，通常のX線応力解析法の適用は不可能なので，著者等が新しく提案した応力測定法により残留応力測定した．製膜後の残留応力は1GPa以上の引張であり，基板温度の上昇により大きくなる．また，この残留応力は試料の加熱により基板と膜との熱膨張係数差による熱残留応力挙動に従うことを明らかにした．


Residual Stress in Aluminum Nitride Films Deposited on Glass Substrate by Magnetron Sputtering Method

Proceedings of the Fourth International Conference on Residual Stresses

ガラス基板上に製作したAlN膜に対する新しいX線残留応力解析法を提案した．スパッタリング法で作成したAlN膜は極めて強いc軸配向性を有し，通常のX線応力解析法の適用は不可能である．低回折角度領域での格子ひずみ測定の可能な側傾法を利用し，c軸に対して傾いた方向に法線をもつ種々の(hkl)面の格子ひずみを測定する新しい解析法を提案した．この方法により，X線応力測定としては極めて不利な条件にあるc軸配向AlN膜の残留応力測定が可能になった．基板の種類と製膜時の基板温度をパラメータとして残留応力を測定した結果，AlN膜には真応力と基板と膜の熱膨張差による熱残留応力が混在し，熱残留応力は試料の加熱により消滅することが明らかになった．


Dependence of Substrate and Its Temperature on Residual Sress Development in AlN Films Deposited on Glasses by Magnetron Sputtering Method

Proceedings of International Symposium on Nondestructive Testing & Stress-Strain Measurement

マグネトロンスパッタリング法によりガラス基板上に形成したAl膜およびAlN膜の残留応力をX線回折法により調べた．特に，基板の種類および基板温度をパラメータとして，残留応力に対する影響を調べた．基板には熱膨張係数がAlNとほぼ同じものと異なるものを用いた，基板温度は室温から高温までの数段階を設定した．その結果，AlN膜の残留応力は温度依存性が認められ，臨界の基板温度までは引っ張り残留応力が増加する．その傾向は基板とAlN膜の熱膨張係数差により説明できることを確認した．また，臨界の基板温度を超えると残留応力は低下し，微視的残留応力の緩和によるものと推定した．


A Study of Changes in Self-Evaluation of Ability in Independent Student Project Activities

自主的な学生プロジェクト活動における 能力自己評価の変化についての考察

日本教育工学会研究報告集

(日)日本教育工学会研究会

(日)日本教育工学会研究会

徳島大学高等教育研究センター学修支援部門創新教育推進班では，ものづくりを基礎とした学生の主体的なプロジェクト活動を通じて，創造的な能力や実践的な態度，社会性の育成を目指している．それらの能力について，学生自身がどのように認識しているかを確認するため，能力自己評価アンケートを実施している．2022年度に行われたアンケート結果を基に学生の能力の自己評価の変化について分析した結果，プロジェクト活動の経験や外部とのかかわりが自己評価に影響していることが示唆された．


学生プロジェクト活動における業務負担とその軽減への考察

学生プロジェクト活動における業務負担とその軽減への考察

第18回 大学教育カンファレンスin徳島発表抄録集

第18回 大学教育カンファレンスin徳島発表抄録集


コロナ禍 3 年目を迎えた自主的な学生プロジェクト活動の実態と その支援の実践について

第 19 回 ものづくり・創造性教育に関するシンポジウム

第 19 回 ものづくり・創造性教育に関するシンポジウム


徳島大学イノベーションプラザの学生プロジェクト活動への 支援とその方法の検討

徳島大学イノベーションプラザの学生プロジェクト活動への 支援とその方法の検討

第10回イノベーション教育学会年次大会

第10回イノベーション教育学会年次大会


Effect of droplets on compressive residual stress in CrN film deposited by AIP method

AIP法で生成したCrN膜内のドロップレットが圧縮残留応力に及ぼす影響

Proceedings of The 56th Symposium on X-Ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials

第56回X線材料強度に関するシンポジウムプログラム講演論文集


Relationship between residual stress and droplet density of chromium nitride films with unified film thickness

膜厚を統一したCrN薄膜の残留応力とドロップレット密度の関係

Proceedings of the 71th JSMS Annual Meetings

第71期学術講演会論文集


第 19 回 ものづくり・創造性教育に関するシンポジウム

第 19 回 ものづくり・創造性教育に関するシンポジウム

第 19 回 ものづくり・創造性教育に関するシンポジウム講演論文集

第 19 回 ものづくり・創造性教育に関するシンポジウム講演論文集


「イノベーション・プロジェクト入門および実践」における活動報告書のルーブリックを用いた評価

教育シンポジウム2022

教育シンポジウム2022

徳島大学理工学部FD委員会

徳島大学理工学部FD委員会


Dependence of residual stress and substrate holding position on amount of droplets in chromium nitride thin film prepated by arc ion plating method

AIP法により生成した窒化クロム薄膜のドロップレット量の残留応力および基板設置位置依存性

Proceedings of The 55th Symposium on X-Ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials

第55回X線材料強度に関するシンポジウムプログラム講演論文集


Relationship between compressive residual stress and surface properties of chromium nitride films deposited by arc ion plating method

アークイオンプレーティング法で形成した窒化クロム薄膜の圧縮残留応力と表面性状の関係

第70期学術講演会論文集

第70期学術講演会論文集


プロジェクトマネジメント基礎におけるルーブリック個人評価の実施と効果

プロジェクトマネジメント基礎におけるルーブリック個人評価の実施と効果

徳島大学教育シンポジウム2021

徳島大学教育シンポジウム2021


X-ray elastic constant measurement of c-axis oriented zinc oxide film

c軸優先配向した酸化亜鉛薄膜のX線的弾性定数測定

日本材料学会第69期学術講演会論文集

日本材料学会第69期学術講演会論文集


プロジェクトマネジメント基礎におけるルーブリック個人評価の実施と効果

プロジェクトマネジメント基礎におけるルーブリック個人評価の実施と効果

教育シンポジウム2020

教育シンポジウム2020

徳島大学理工学部および工学部FD委員会

徳島大学理工学部および工学部FD委員会


徳島大学イノベーションプラザにおける学生プロジェクトの活動∼教学IRによる教育の質保証を目指して∼

大学教育カンファレンス in 徳島

大学教育カンファレンス in 徳島


Effect of droplet amount on residual stress in Cr/CrN multilayered film deposited on Ti alloy substrate by AIP method

AIP法によりTi合金基板上に堆積したCr/CrN多層膜の残留応力のドロップレット量依存性

The 53rd Symposium on X-Ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials

第53回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Measurement of residual stress in CrN films and Cr/CrN multilayer with stress gradient deposited on aluminum alloy substrate

アルミニウム合金基板上に堆積させた応力勾配を有するCrN単層膜およびCr/CrN多層膜の内部応力評価

第53回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Stress measurement of {211}-oriented Cr/CrN multilayered films

{211}優先配向したCr/CrN多層膜の応力測定

Proceedings of the 68th JSMS Annual Meetings

日本材料学会第68期学術講演会講演論文集


Measurement of residual stress in CrN films with stress gradient deposited on aluminum alloy substrate

アルミニウム合金基板上に堆積させた応力勾配を有する CrN 単層膜の残留応力測定

日本材料学会第68期学術講演会講演論文集


二種類の基板上に堆積したCrN単層膜およびCr/CrN多層膜の残留応力評価

二種類の基板上に堆積したCrN単層膜およびCr/CrN多層膜の残留応力評価

第52回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集

第52回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


ポリイミドフィルム上に堆積した銅薄膜の回折弾性定数の基板温度および膜厚依存性

ポリイミドフィルム上に堆積した銅薄膜の回折弾性定数の基板温度および膜厚依存性

日本材料学会第67期学術講演会講演論文集

日本材料学会第67期学術講演会講演論文集


AIP法によりTi合金及びAl合金基板上に堆積させたCrN単層膜及びCr/CrN多層膜の内部応力測定

日本材料学会第67期学術講演会講演論文集

日本材料学会第67期学術講演会講演論文集


Cr/CrN多層膜を被覆したチタン合金のエロージョン特性

Cr/CrN多層膜を被覆したチタン合金のエロージョン特性

日本材料学会第67期学術講演会講演論文集

日本材料学会第67期学術講演会講演論文集


イノベーション教育のための全学組織「創新教育センター」の設置と今後の展望

イノベーション教育のための全学組織「創新教育センター」の設置と今後の展望

イノベーション教育学会第5回年次大会

イノベーション教育学会第5回年次大会


社会人基礎力育成に向けたプロジェクトマネジメント教育の効果

社会人基礎力育成に向けたプロジェクトマネジメント教育の効果

平成29年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

平成29年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集

The Institute of Electrical Engineers of Japan


学生の自己能力評価アンケート調査からみたイノベーション教育の課題

学生の自己能力評価アンケート調査からみたイノベーション教育の課題

大学教育カンファレンスin徳島

大学教育カンファレンスin徳島


Approach of practice of planning and designing for solving real problems in the region

地域地域における実際の問題を解決するにおける実際の問題を解決する企画設計実習の取り組み

第63回工学教育研究講演会講演論文集

第63回工学教育研究講演会講演論文集

Japanese Society for Engineering Education

社団法人 日本工学教育協会


The relationship between hillock formation and initial residual stress of copper thin film with differnt grain size

結晶粒径の異なる銅薄膜のヒロック形成と初期残留応力の関係

Proceedings of The 46th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials

第46回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Residual stress measurement in metal interlayer of metal-ceramics functionally graded thin film

金属-セラミックス傾斜機能薄膜の金属界面層の残留応力測定

Proceedings of The 45th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials

第45回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Attempt of practice divided up design and production

設計と製作を分担したものづくり実習の試み

平成22年度工学・工業教育研究講演会講演論文集

平成22年度工学・工業教育研究講演会講演論文集

社団法人 日本工学教育協会


Residual stress measurement in 2-layered aluminum nitride films deposited by two kinds of sputterings with different power supply

電源の異なる二種類のスパッタリング法で堆積させた2層の窒化アルミニウム薄膜の残留応力測定

Proceedings of The 44th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials

第44回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


AIP法によって生成したTiN膜の残留応力の熱的特性

AIP法によって生成したTiN膜の残留応力の熱的特性

日本材料学会第58期学術講演会

日本材料学会第58期学術講演会


視覚的理解から操作・体得理解へ-4節リンク模型を用いた「機構学」での動機付け-

視覚的理解から操作・体得理解へ-4節リンク模型を用いた「機構学」での動機付け-

平成20年度工学・工業教育研究講演会講演論文集

平成20年度工学・工業教育研究講演会講演論文集


Trial of practice shared in design and production works

設計-製作分離型ものづくり実習の試み

平成20年度工学・工業教育研究講演会 講演論文集

平成20年度工学・工業教育研究講演会 講演論文集

社団法人 日本工学教育協会


繰り返し曲げ付加によるCu薄膜の残留応力評価

繰り返し曲げ付加によるCu薄膜の残留応力評価

Proceedings of The 43rd Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials

第43回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Residual Stresses in CrN films due to heat treatment

熱処理を施したCrN薄膜の残留応力

Proceedings of The 43st Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials

第43回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Effect of laser incident angle on residual stress development in laser-peened aluminum alloy

レーザピーニング処理されたアルミニウム合金に発生する圧縮残留応力のレーザ角度依存性

第43回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Measurement of residual stress in aluminum casting with large crystal by X-ray diffraction

粗大結晶粒を有するアルミニウム鋳造材の内部応力測定

第43回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


プロジェクト活動における教育的効果について

プロジェクト活動における教育的効果について

平成19年度工学・工業教育研究講演会講演論文集

平成19年度工学・工業教育研究講演会講演論文集

社団法人 日本工学教育協会


In-situ high temperature observation on the surface of copper films deposited by sputtering

スパッタリング生成した銅薄膜表面の高温その場表面観察

Proceedings of The 42st Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials

第42回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


アルミニウム鋳造材の応力測定

第42回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Trial of energy contest for initial creative subject

導入型創成科目におけるエネルギーコンテストの試み

平成18年度工学・工業教育研究講演会 講演論文集

平成18年度工学・工業教育研究講演会 講演論文集

Japanese Society for Engineering Education

社団法人 日本工学教育協会


Alteration of internal stresses in hard coating films by synchrotron radiation due to heat treatment

放射光による熱処理された硬質薄膜の残留応力測定

Proceedings of The 41st Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials

第41回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


In-situ thermal stress measurement in multi-layered aluminum nitride and copper films by synchrotron radiation

放射光を用いた窒化アルミニウム-銅積層膜の熱応力その場測定

第41回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


In-situ thermal stress measurement in nano-size copper thin films by synchrotron radiation

放射光を用いたナノサイズ銅薄膜の熱応力その場測定

第41回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Effect of Laser Focal Position and Laser Scanning Speed on Residual Stress in Laser Peened Cun Metal

レーザピーニング処理した砲金の残留応力のレーザ焦点位置および操作速度依存性

Proceedings of The 40th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials

第40回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


学生自主プロジェクト活動実態に関する考察

学生自主プロジェクト活動実態に関する考察

平成17年度 工学·工業教育研究講演会講演論文集

平成17年度 工学·工業教育研究講演会講演論文集

社団法人 日本工学教育協会


Evaluation of characteristics of SPS Sintering Materials by Neutron Diffraction Method

中性子回折法によるSPS材料の強度特性評価

第40回X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


創成学習開発センターにおける創造性教育の取り組み

創成学習開発センターにおける創造性教育の取り組み

第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集

第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集


TiN薄膜熱応力その場測定

TiN薄膜熱応力その場測定

日本材料学会四国支部第6期総会·学術講演会講演論文集

日本材料学会四国支部第6期総会·学術講演会講演論文集


レーザピーニング処理したアルミニウム合金の残留応力分布とその評価

レーザピーニング処理したアルミニウム合金の残留応力分布とその評価

日本材料学会四国支部第6期総会·学術講演会講演論文集

日本材料学会四国支部第6期総会·学術講演会講演論文集


放射光を用いたナノサイズアルミニウム薄膜の熱応力その場測定

放射光を用いたナノサイズアルミニウム薄膜の熱応力その場測定

日本材料学会四国支部第6期総会·学術講演会講演論文集

日本材料学会四国支部第6期総会·学術講演会講演論文集


中性子回折法による金属およびセラミックスのSPS焼結材の特性評価

中性子回折法による金属およびセラミックスのSPS焼結材の特性評価

日本材料学会四国支部第6期総会·学術講演会講演論文集

日本材料学会四国支部第6期総会·学術講演会講演論文集


Measurement of Electromigration-induced Strain in Fine Aluminum Line

極細Al配線のエレクトロマイグレーション誘起ひずみの測定

Proceedings of The 39th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials

第39回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Thermal Stress Behavior of Aluminum Nanofilms under Heat Cycling

放射光を用いたナノサイズアルミニウム薄膜の熱応力その場測定

第39回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


The Residual Stress and Surface Property of Titanium Nitride

窒化チタン薄膜の残留応力および表面特性

第39回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Alteration of Residual Stress in SiO2/Cu/TiN Films due to Heat Treatment

熱処理によるSiO2/Cu/TiN積層膜の残留応力変化

第39回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Effect of Laser Power and Scanning Speed on Residual Stress in Laser-peened Aluminum Alloy Surface

レーザーピーニング処理したアルミニウム合金の残留応力のレーザーパワーおよび走査速度依存性

第39回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Residual Stress Analysis of Metal/Ceramic Functionally Graded Materials

金属/セラミックス系傾斜機能材料の内部残留応力測定

第39回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


ナノサイズアルミニウム薄膜の熱応力その場測定

ナノサイズアルミニウム薄膜の熱応力その場測定

日本機械学会2004年度年次大会講演論文集

日本機械学会2004年度年次大会講演論文集


放射光を用いたナノサイズアルミニウム薄膜の熱応力その場測定

放射光を用いたナノサイズアルミニウム薄膜の熱応力その場測定

LSI配線における原子輸送·応力問題 第10回研究会予稿集

LSI配線における原子輸送·応力問題 第10回研究会予稿集


Effect of laser power on residual stress in laser-peened aluminum alloy

レーザーピーニング処理したアルミニウム合金の残留応力のレーザーパワー依存性

第53期 学術講演会講演論文集

第53期 学術講演会講演論文集


ナノサイズ窒化チタン薄膜の残留応力測定および表面特性

ナノサイズ窒化チタン薄膜の残留応力測定および表面特性

日本材料学会四国支部第5期総会·学術講演会講演論文集

日本材料学会四国支部第5期総会·学術講演会講演論文集


ナノサイズCu薄膜の残留応力測定

ナノサイズCu薄膜の残留応力測定

日本材料学会四国支部第5期総会·学術講演会講演論文集

日本材料学会四国支部第5期総会·学術講演会講演論文集


金属/セラミックス系傾斜機能材料の内部残留応力測定

金属/セラミックス系傾斜機能材料の内部残留応力測定

日本材料学会四国支部第5期総会·学術講演会講演論文集

日本材料学会四国支部第5期総会·学術講演会講演論文集


放射光およびX線を用いたTiN薄膜の残留応力測定および表面観察

放射光およびX線を用いたTiN薄膜の残留応力測定および表面観察

第47回 日本学術会議材料研究連合講演会講演論文集

第47回 日本学術会議材料研究連合講演会講演論文集

日本学術会議材料工学研究連絡委員会

日本学術会議材料工学研究連絡委員会


Al-Al2O3系焼結複合材料の中性子回折法による内部残留応力分布評価

Al-Al2O3系焼結複合材料の中性子回折法による内部残留応力分布評価

第47回 日本学術会議材料研究連合講演会講演論文集

第47回 日本学術会議材料研究連合講演会講演論文集

日本学術会議材料工学研究連絡委員会

日本学術会議材料工学研究連絡委員会


Technique to Evaluate Each Student in Groups --- A trial for Machine Creation Laboratory

グループ活動における個人の成績評価 --- 創造実習における試み

平成15年度工学·工業教育研究講演会講演論文集

平成15年度工学·工業教育研究講演会講演論文集

Japanese Society for Engineering Education

社団法人 日本工学教育協会


Trial of task inquiring class named "Find Its Root"

課題探求型授業「ルーツを探れ」の試み

平成15年度工学·工業教育研究講演会講演論文集

平成15年度工学·工業教育研究講演会講演論文集


Lego Mindstormsを利用した創造的ものづくり教育とその効果

Lego Mindstormsを利用した創造的ものづくり教育とその効果

平成15年度工学·工業教育研究講演会講演論文集

平成15年度工学·工業教育研究講演会講演論文集


Evaluation of personal records in a group

グループ活動における個人の成績評価

日本機械学会2003年度年次大会講演論文集

日本機械学会2003年度年次大会講演論文集


Trial of class on history of technology named "Find Its Root" and its effect

技術史教育「ルーツを探れ」の試みとその効果

日本機械学会2003年度年次大会講演論文集

日本機械学会2003年度年次大会講演論文集


Effective Practice of Machine Creation Laboratory Using Lego Mindstorms

日本機械学会2003年度年次大会講演論文集

日本機械学会2003年度年次大会講演論文集


GaNスパッタ膜の結晶配向性と内部応力の基盤温度依存性

GaNスパッタ膜の結晶配向性と内部応力の基盤温度依存性

平成14年電気関係学会四国支部連合大会講演論文集

平成14年電気関係学会四国支部連合大会講演論文集


Measurement of Crystal Orientation and Residual Stress in TiN Films by Synchrotron Radiation

シンクロトロン放射光によるTiN薄膜の結晶配向性と残留応力測定

Proceedings of the 38th symposium on X-ray studies on mechanical behavior of materials

第38回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Evaluation of Laser-Peened Aluminum Surface

レーザーピーニング処理されたアルミニウム表面の評価

第38回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Residual Stress Measurement of RF Sputtered Gallium Nitride Films

高周波スパッタリング生成した単結晶窒化ガリウム膜の残留応力測定

第38回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


卒業研究のプレゼンテーション評価

卒業研究のプレゼンテーション評価

平成14年度 工学·工業教育研究講演会講演論文集

平成14年度 工学·工業教育研究講演会講演論文集

社団法人 日本工学教育協会


Lego Mindstormsを使った創成型教育の実施と評価

Lego Mindstormsを使った創成型教育の実施と評価

平成14年度 工学·工業教育研究講演会講演論文集

平成14年度 工学·工業教育研究講演会講演論文集

社団法人 日本工学教育協会


スパッタリング生成した単結晶ガリウム膜の残留応力測定

スパッタリング生成した単結晶ガリウム膜の残留応力測定

第51期 学術講演会講演論文集

第51期 学術講演会講演論文集


レーザーピーニング処理した炭素鋼の残留応力測定

レーザーピーニング処理した炭素鋼の残留応力測定

第51期 学術講演会講演論文集

第51期 学術講演会講演論文集


ZrO2膜作製における高速酸素発生とZrターゲット面酸化機構モデル

ZrO2膜作製における高速酸素発生とZrターゲット面酸化機構モデル

第49回応用物理学関係連合講演会

第49回応用物理学関係連合講演会


プレーナマグネトロンスパッタリング法によるサファイヤ基板上へのGaN膜の作製

プレーナマグネトロンスパッタリング法によるサファイヤ基板上へのGaN膜の作製

第49回応用物理学関係連合講演会

第49回応用物理学関係連合講演会


Effect of Plasma Protection Net on Crystal Orientation and Residual Stress in Sputtering GaN Films

スパッタリングGaN薄膜の結晶配向性および残留応力のプラズマ防止網の効果

Proceedings of the 37th symposium on X-ray studies on mechanical behavior of materials

第37回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Crystal Orientation and Residual Stress in AlN Films Deposited by DC and RF Sputtering

直流2極および高周波スパッタリング生成したAlN薄膜の結晶配向性および残留応力

第37回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


レーザーピーニング処理したアルミニウム表面の残留応力評価

レーザーピーニング処理したアルミニウム表面の残留応力評価

第50期 学術講演会講演論文集

第50期 学術講演会講演論文集


AIP法で作製した窒化クロム膜の優先配向性と残留応力評価

AIP法で作製した窒化クロム膜の優先配向性と残留応力評価

第50期 学術講演会講演論文集

第50期 学術講演会講演論文集


プレーナマグネトロンスパッタリング法によるGaN膜の作製

プレーナマグネトロンスパッタリング法によるGaN膜の作製

平成12年電気関係学会四国支部連合大会講演論文集

平成12年電気関係学会四国支部連合大会講演論文集


Residual Stress Measurement of Single Crystal GaN Film

単結晶GaN薄膜の残留応力測定

Proceedings of the 36th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials

第36回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Development of Thick TiN Film on Aluminum Substrate and Its Wear Properties

アルミニウム基材へのTiN厚膜の作成とその摩耗特性

Proceedings of the 36th symposium on X-ray studies on mechanical behavior of materials

第36回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Effect of Sputtering Power on Residual Stress and Crystal Orientation in AlN Films Deposited by RF and DC Sputtering

AlNスパッタリング膜の結晶配向性および残留応力の放電電力依存性

Proceedings of the 35th symposium on X-ray studies on mechanical behavior of materials

第35回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Effect of Film Thickness on Crystal Orientation and Residual Stress in AlN Film Deposited by DC Sputtering

直流スパッタAlN膜の結晶配向性および残留応力の膜厚依存性

第35回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Residual Stress Measurement of ZnO Film Deposited by Two Facing Target Sputtering System

対向ターゲット式スパッタリング法により生成したZnO薄膜の残留応力測定

Proceedings of the 34th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials

第34回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Mechanical Properties of TiN Films Deposited on Aluminum Substrate by Arc Ion Plating Method

アークイオンプレーティング法によるアルミニウム基板へのTiN膜の形成とその機械的特性

第34回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Effect of External Magnetic Field on c-axis Orientation and Residual Stress in AlN Films

AlN薄膜のc軸配向性と残留応力の外部磁場依存性

Proceedings of the 33th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials

第33回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Residual Stress Measurement in ZnO Films Deposited by Two Facing Targets Sputtering System

対向ターゲット式スパッタリング装置を用いて作製したZnO膜の残留応力測定

第33回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Influence of Passivating Layer on Thermal Stress Development in Aluminum Film

Al膜の熱応力の保護膜による影響

第33回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Residual Stress Measurement in AlN Films by Alternating Sputtering System

交替式スパッタリング装置を用いて生成したAlN膜の残留応力測定

Proceedings of the 32th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials

第32回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


X-ray Residual Stress Measurement of Laser-sprayed Layer

レーザ溶射膜の残留応力のX線的測定

第32回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Effect of Plasma Prevention Net for Deposition of AlN Films by Magnetron Sputtering Method

マグネトロンスパッタリング法で生成したAlN膜のプラズマ防止網の効果

Proceedings of the 31th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials

第31回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Change of Residual Stress for Heat Treatment in Aluminum Films Deposited on Thermal Oxygenated Silicon Wafer

熱酸化シリコン基板上に蒸着したAl膜の熱処理による残留応力の変化

第31回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Al薄膜の残留応力の熱処理による変化

Al薄膜の残留応力の熱処理による変化

日本機械学会·材料力学部門講演会論文集

日本機械学会·材料力学部門講演会論文集


{111}配向膜のX線的応力解析

{111}配向膜のX線的応力解析

日本機械学会·材料力学部門講演会論文集

日本機械学会·材料力学部門講演会論文集


Dependence of Nitrogen Gas Pressure on Residual Stress in AlN Films Deposited by Planar Magnetron Sputtering System with Unbalanced Target

アンバランスドターゲットを用いたプレーナマグネトロンスパッタリング装置で作製したAlN膜の残留応力の窒素ガス圧依存性

Proceedings of the 30th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials

第30回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


プレーナマグネトロンスパッタリング生成したAlN膜の結晶配向性と残留応力の窒素ガス圧依存性

第43期学術講演会論文集

第43期学術講演会論文集


Influence of Plasma on Crystal Orientation and Residual Stress in AlN Films Deposited by Planar Magnetron Sputtering System

プレーナマグネトロンスパッタリング生成によるAlN膜の結晶配向性と残留応力のプラズマ汚染の影響

Proceedings of the 29th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials

第29回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Dependence of Substrate Temperature on Residual Stress in AlN Films Deposited by Sputtering System

スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板温度依存性

Proceedings of the 28th Symposium on X-ray Studies on Mechanical Behavior of Materials

第28回 X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集


Outline of "Education Center for Innovation" for nurturing innovation human resources active in the world

世界で活躍する『創新(イノベーション)人材』育成のための「創新教育センター」の概要

The Papers of Technical Meeting on "Control", IEE Japan

電気学会研究会資料，制御研究会

The Institute of Electrical Engineers of Japan

In modern society where globalization rapidly progresses, universities are required to develop human resources capable of responding to such changes. In order to solve it, it is urgently necessary to develop human resources capable of creating innovation, establish "Education Center for Innovation" that intensifies and redistributes campus resources related to innovation education with the aim of fostering human resources capable of creating innovation, building a university innovation education system, and strengthening the creation of innovation human resources .

グローバル化が急速に進展する現代社会において，大学にはその変化に対応できる人材の育成が求められている．それを解決するにはイノベーションを創出できる人材の育成が早急に必要である．イノベーション人材の輩出を強化するために，全学的なイノベーション教育体制を構築し，イノベーションを創出できる人材育成を目的として，イノベーション教育に関連する学内資源を集約・再配分した「創新教育センター」を設置した．


創成学習開発センターが支援するプロジェクトマネジメント基礎による創造性教育

創成学習開発センターが支援するプロジェクトマネジメント基礎による創造性教育

教育シンポジウム2017

教育シンポジウム2017

徳島大学理工学部・工学部FD委員会

徳島大学理工学部・工学部FD委員会


ものづくり教育による大学生の能力向上

ものづくり教育による大学生の能力向上

電気学会研究会資料 制御研究会

電気学会研究会資料 制御研究会


徳島大学創成学習開発センターが支援する自主プロジェクト演習による創造性教育

徳島大学創成学習開発センターが支援する自主プロジェクト演習による創造性教育

工学教育シンポジウム2016

工学教育シンポジウム2016

徳島大学工学部FD委員会

徳島大学工学部FD委員会


導入科目「プロジェクトマネージメント基礎」における企画設計実習の取り組み

導入科目「プロジェクトマネージメント基礎」における企画設計実習の取り組み

電気学会研究会資料 制御研究会

電気学会研究会資料 制御研究会


Enfocement and evaluation of the introductory subject "project menagement fundamentals"

導入科目「プロジェクトマネジメント基礎」の実施と評価

電気学会研究会資料 制御研究会

電気学会研究会資料 制御研究会

We report about the introductory subject "Project Management Fundamentals". The student will get a basic ability to work with diverse peoples in the community or workplace, through the planning and practice of a project to accomplish the task. In addition, the student will obtain project management skills required to design and implement the project. This year's theme was "the development of new products to eliminate the inconvenience for you". The students worked on the development of new products in a team as a project. We evaluated the individual and team by using the project notes.


第6回残留応力に関する国際会議(ICRS-6)に出席して

第6回残留応力に関する国際会議(ICRS-6)に出席して

Journal of the Society of Materials Science, Japan