en: Internal Stress and Atomic Transportation in Thin Film and Line Structure

ja: 薄膜および配線構造体の内部応力と原子輸送

en: Grants-in-Aid for Scientific Research

ja: 科学研究費助成事業


en: スパッタリング窒化物半導体薄膜の作製とX線回折を用いた特性評価

ja: スパッタリング窒化物半導体薄膜の作製とX線回折を用いた特性評価


en: In-situ system observation of thermal stress in thin films by in-lab X-ray equipment and synchrotron radiation

ja: X線およびシンクロトロン放射光による薄膜の高温挙動その場観察


en: What is a controlling factor of the strength of thin films?

ja: ナノサイズ薄膜の強度支配因子は何か?


en: 微小領域にレーザピーニング処理したアルミニウム合金の内部応力評価

ja: 微小領域にレーザピーニング処理したアルミニウム合金の内部応力評価


en: Deformation constraint by grain boundary observed with microscopic view point

ja: ミクロな視点から覗く結晶界面の変形拘束


en: Development of anti-erosion material using Cr/CrN multilayer coatings

ja: Cr/CrN多層コーティング膜を利用した耐エロージョン材料の開発


en: Development of Erosion-Resistant Cr/CrN Multilayer Coating Films with High Crack Growth Retardation Effect

ja: 高いき裂進展抑制効果を発現する耐エロージョン性Cr/CrN多層コーティング膜の開発